DIN 32567-1:2015-06

system DIN 2015-06-01 10 PDF 440 0 2026-07-04 15:59

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Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences. (Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse.)

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