loading preview...
summary
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures. (Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren.)
Details
Publisher
DIN
File size
903.37 KB
Pages
13
Format
PDF
Publication date
2014-10-01