DIN 50451-2:2003-04

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectroscopy. (Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 2: Calcium (Ca), Cobalt (Co), Chrom (Cr), Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Nickel (Ni) und Zink (Zn) in Flusssäure mittels Plasma-angeregter Emissionsspektrometrie.)