DIN 50451-6:2014-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4; F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid. (Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4; F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure.)