DIN 50453-1:1990-10

system DIN 1990-10-01 10 PDF 195 0 2026-07-04 17:04

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Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method. (Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzraten von Ätzmischungen; Silicium-Einkristalle; Gravimetrisches Verfahren.)

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