DIN EN 62047-14:2012-10

system DIN 2012-10-01 12 PDF 560 0 2026-07-05 02:14

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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials. (Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.)

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