loading preview...
summary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films. (Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.)
Details
Publisher
DIN
File size
1.59 MB
Pages
28
Format
PDF
Publication date
2015-12-01