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summary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials. (Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.)
Details
Publisher
DIN
File size
303.94 KB
Pages
14
Format
PDF
Publication date
2007-02-01