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summary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS. (Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik.)
Details
Publisher
DIN
File size
331.41 KB
Pages
22
Format
PDF
Publication date
2011-03-01