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summary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials. (Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen.)
Details
Publisher
DIN
File size
353.26 KB
Pages
17
Format
PDF
Publication date
2010-07-01