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summary
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration. (Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit.)
Details
Publisher
DIN
File size
737.19 KB
Pages
32
Format
PDF
Publication date
2012-12-01