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summary
Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometers to micrometers ; Text in English. (Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung ; Text Englisch.)
Details
Publisher
DIN
File size
4.85 MB
Pages
63
Format
PDF
Publication date
2020-11-01