E DIN EN 62047-17:2011-06 - Page 2

system DIN 2011-06-01 14 PDF 634 0 2026-07-05 02:14

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Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film. (Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.)

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