E DIN EN 62643-1:2011-07

system DIN 2011-07-01 27 PDF 1413 0 2026-07-05 02:20

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Electrostatic Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Oscillators of assessed quality - Part 1: Generic specification. (Elektrostatische auf mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) basierende Oszillatoren mit bewerteter Qualität - Teil 1: Fachgrundspezifikation.)

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