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summary
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications. (Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen.)
Details
Publisher
DIN
File size
3.16 MB
Pages
85
Format
PDF
Publication date
2016-03-01
