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summary
Geometrical product specification (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments. (Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (der phasenschiebenden interferometrischen Mikroskopie).)
Details
Publisher
DIN
File size
1.9 MB
Pages
34
Format
PDF
Publication date
2011-08-01