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summary
Semiconductor devices - Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) test for gate dielectric films. (Halbleiterbauelemente - Prüfung des zeitabhängigen dielektrischen Durchbruchs (TDDB) für dielektrische Gate-Schichten.)
Details
Publisher
DIN
File size
559.13 KB
Pages
24
Format
PDF
Publication date
2008-02-01